Bearbeitung der Silizium Wafer

Chemisch-mechanisches Polieren

Oberfläche vor dem chemisch-mechanischen Polieren - Quelle http://de.wikipedia.org/wiki/Chemisch-mechanisches_Polieren

Vor dem chemisch-mechanischen Polieren

Oberfläche nach dem chemisch-mechanischen Polieren - Quelle http://de.wikipedia.org/wiki/Chemisch-mechanisches_Polieren

Nach dem chemisch-machanischen Polieren

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